近年(nian)來，無塵車間(jian)為了保(bao)(bao)證一定的(de)環境濕(shi)度，在規定范圍中保(bao)(bao)持處理空(kong)氣(qi)過程，使(shi)我們必需承擔資金(jin)和運營成(cheng)本。但是為什么值得花費這么多錢用在無塵車間(jian)、潔凈室(shi)中控制相(xiang)對濕(shi)度呢(ni)？道理很簡單！因為相(xiang)對濕(shi)度有一系列可能使(shi)潔凈室(shi)總體表現(xian)下降的(de)因素(su)，其(qi)中包括：

1、細(xi)菌(jun)生長(chang)；細(xi)菌(jun)和(he)其他生物污染(霉(mei)菌(jun)，病毒，真菌(jun)，螨蟲(chong))在相對(dui)(dui)濕度超過60%的(de)環境中可(ke)以(yi)活躍地(di)繁殖。一(yi)些菌(jun)群在相對(dui)(dui)濕度超過30%時(shi)就可(ke)以(yi)增長(chang)。在相對(dui)(dui)濕度處于(yu)40%至60%的(de)范圍之(zhi)間時(shi)，可(ke)以(yi)使細(xi)菌(jun)的(de)影響以(yi)及呼(hu)吸道感(gan)染降至最(zui)低。

2、工作人(ren)員感到室溫(wen)舒適的范圍(wei)；相對濕(shi)度(du)(du)在40%至60%的范圍(wei)同樣(yang)也是人(ren)類感覺舒適的適度(du)(du)范圍(wei)。濕(shi)度(du)(du)過高會(hui)使人(ren)覺得(de)氣(qi)悶，而濕(shi)度(du)(du)低于30%則會(hui)讓人(ren)感覺干燥，皮膚(fu)破裂，呼吸(xi)道(dao)不適以及情感上的不快。

3、出現靜電(dian)荷(he)；高濕(shi)度(du)(du)實際(ji)上減小了無塵(chen)車間、潔凈室表面(mian)的靜電(dian)荷(he)積(ji)累(lei)──這是(shi)大家(jia)希望的結果。較(jiao)(jiao)低的濕(shi)度(du)(du)比較(jiao)(jiao)適合(he)電(dian)荷(he)的積(ji)累(lei)并成(cheng)為潛在(zai)的具(ju)有破壞(huai)性的靜電(dian)釋(shi)放源。當(dang)相對濕(shi)度(du)(du)超(chao)過50%時，靜電(dian)荷(he)開始迅速消散(san)，但(dan)是(shi)當(dang)相對濕(shi)度(du)(du)小于(yu)30%時，它們(men)可以(yi)在(zai)絕緣體(ti)或者未接地的表面(mian)上持續存在(zai)很長一(yi)(yi)(yi)段(duan)時間。相對濕(shi)度(du)(du)在(zai)35%到40%之間可以(yi)作為一(yi)(yi)(yi)個令人滿(man)意(yi)的折中，半(ban)導體(ti)無塵(chen)車間、潔凈室一(yi)(yi)(yi)般(ban)都使用額外的控制(zhi)裝置以(yi)限制(zhi)靜電(dian)荷(he)的積(ji)累(lei)。

4、金(jin)屬腐蝕；很多化學(xue)反(fan)應(ying)的(de)速度(du)(du)，包括腐蝕過程，將隨著相對濕(shi)度(du)(du)的(de)增高而加(jia)快。所有(you)暴露在(zai)無(wu)塵車間、潔(jie)凈(jing)室周(zhou)圍空(kong)氣中的(de)表面都很快地被覆蓋上至少(shao)一(yi)(yi)層單(dan)分子層的(de)水。當(dang)這(zhe)些表面是由可(ke)以與水反(fan)應(ying)的(de)薄金(jin)屬涂(tu)層組(zu)成(cheng)時，高濕(shi)度(du)(du)可(ke)以使反(fan)應(ying)加(jia)速。幸運的(de)是，一(yi)(yi)些金(jin)屬，例(li)(li)如鋁(lv)，可(ke)以與水形(xing)成(cheng)一(yi)(yi)層保(bao)護(hu)型的(de)氧化物，并阻(zu)止進一(yi)(yi)步的(de)氧化反(fan)應(ying)；但另一(yi)(yi)種(zhong)情況是，例(li)(li)如氧化銅，是不具有(you)保(bao)護(hu)能力的(de)，因此，在(zai)高濕(shi)度(du)(du)的(de)環境(jing)中，銅制表面更(geng)容(rong)易(yi)受到腐蝕。

5、水(shui)汽(qi)冷凝；在相(xiang)對濕度(du)較高(gao)的(de)(de)環境中(zhong)，濃縮水(shui)形(xing)的(de)(de)毛細管力(li)在顆粒(li)和表面(mian)之間形(xing)成了(le)連接鍵，可以(yi)增加顆粒(li)與硅質表面(mian)的(de)(de)黏附(fu)力(li)。這種效應——凱爾文濃縮——當相(xiang)對濕度(du)小于50%時(shi)并不重要，但當相(xiang)對濕度(du)在70%左(zuo)右時(shi)，就成為顆粒(li)之間黏附(fu)的(de)(de)主要力(li)量(liang)。

6、光(guang)(guang)刻的(de)(de)退化；到目(mu)前為止(zhi)，在(zai)半導(dao)體無(wu)塵車間、潔凈室(shi)中最迫切需要適(shi)當控制的(de)(de)是光(guang)(guang)刻膠(jiao)的(de)(de)敏(min)感性(xing)。由(you)于(yu)光(guang)(guang)刻膠(jiao)對相(xiang)對濕度極為敏(min)感的(de)(de)特性(xing)，它(ta)對相(xiang)對濕度的(de)(de)控制范圍的(de)(de)要求是最嚴格(ge)的(de)(de)水(shui)準。

干燥的季節，在無塵車間內，靜電和粉塵的危害是直接造成無塵車間工業產品出現各種不良后果。現在通過使用工業加濕機將空氣濕度提升(sheng)，即保證了產品的出廠品質，人們感覺舒適，靜(jing)電也消失了、因此，潔凈加濕成為無塵(chen)車(che)間(jian)環境控(kong)制的必然要求(qiu)。

本文(wen)為杭(hang)州嘉友原創，轉(zhuan)載須注(zhu)明出處(chu)和鏈接：//nybsc.com.cn/about/wccjhjwsd.htm